曝光机为什么要用UV能量测试仪

UV能量测试仪主要用于曝光机内UV光源的强度和能量检测，而曝光机主要功能是通过紫外线的照射使得光刻胶中的感光剂发生化学变化。通过仪器的检测，我们可以控制曝光时间以及紫外灯的强度以达到合适的光刻胶曝光效果。

曝光机的工作原理

曝光机主要运用在半导体器件制造工艺中的光刻流程中。光刻主要是利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底上。

曝光机内有很多UV LED光源，这些LED光源并列分布，曝光机可以通过这些具有特定波长的UV LED发出的光对覆盖衬底的光刻胶进行选择性地照射，使得光刻胶中的感光剂发生光化学反应，发生化学反应后的区域可以溶解于特定的显影液中。利用感光与非感光光刻胶对碱性显影液溶剂的不同溶解度，就可以进行掩膜图形的转移。

曝光不足或者曝光过度的后果

利用UV能量测试仪正确地控制曝光时间才能够得到优良的干膜抗蚀图像。

当曝光不足时，由于感光剂中化学反应的不彻底，在显影过程中，胶膜会溶涨变软，线条不够清晰，色泽暗淡，甚至脱胶。在电镀前处理或电镀过程中，膜会发生起翘、渗镀、甚至脱落的现象。当曝光过度时，会造成难于显影，胶膜发脆、留下残胶等弊病。

曝光不足或者曝光过度都会产生图像线宽的偏差，过度的曝光会使图形电镀的线条变细，使印制蚀刻的线条变粗，而曝光不足使图形电镀的线条变粗，使印制蚀刻的线条变细。因此曝光机的曝光时长以及光照强度都需要进行严格的监控。

林上LS128UV能量测试仪，是一款专业用于检测曝光机内UV LED光源的设备。仪器可以记录接收到的紫外光的强度和能量值，将仪器放置在需要进行曝光的光刻胶的位置上，仪器可以实时记录光刻胶在曝光机内接收到的紫外线强度大小以及累积的能量值，通过控制曝光机内UV LED的强度和曝光时间来达到正常曝光。