光学真空镀膜的品质检测-真空镀膜在线测厚仪

光学真空镀薄膜技术是一项集光学、电子、材料、真空、镀膜等多个行业于一体的综合性现代高新技术。光学性真空镀膜产品应用越来越广泛，比如真空镀铝膜是最经常见的。

真空镀光学薄膜对于镀层厚度要求技术较高，镀膜过程中的厚度均匀性，决定了光学薄膜的光学性能。目前国内市场上有光学真空镀膜在线检测设备（运用光学透光率值来监测光学薄膜的镀层厚度，也就是真空镀膜在线测厚仪）；利用真空镀膜技术制备的各类光学薄膜已广泛应用于光学、电子、材料、信息、通信、生物、医学、环保、节能等国民经济的各个领域，其作用越显重要。

广东省的光学薄膜领域经过三十多年的发展，从无到有，不仅已经形成了各种光学镜头镀膜、光学滤光片、激光薄膜、红外薄膜、眼镜镀膜、灯光照明镀膜、幕墙玻璃镀膜、透明导电膜、汽车镀膜等产品组成的庞大光学薄膜产业群，最近十多年，更出现了应用于平板电视面板、手机面板、平板电脑面板、数码相机镜头、光纤通信有源及无源器件、平板显示器、触摸屏等的薄膜器件以及太阳能薄膜、LED的MOCVD镀膜等的光电功能薄膜等应用于信息、通信、能源等领域的更庞大、更先进的新兴光学薄膜产业。

基于光学镀膜技术，采用大角度倾斜沉积（Glancing Angle Deposition, GLAD）配合基片旋转，可以制备出具有形貌可控的微纳尺度的雕塑薄膜(Sculpture Thin Films, STF)，展现了微纳器件的雏形。典型的雕塑薄膜形貌有丝状、斜柱状、螺旋状和zig-zag状等，由于雕塑薄膜多样可控的形貌特征和多孔的结构特征，使得其相对于传统的光学薄膜具有更多新颖的光学特性，包括斜柱状薄膜的双折射特性、螺旋状（手性）薄膜的光特性和圆布拉格特性、低折射率特性等，因此在光通信器件、LED等光学器件、三维光子晶体制备等方面都将有广泛的应用前景。

但是目前光学真空镀膜设备，对生产过程中镀层厚度的均匀性较难掌控，总希望镀层厚度在光学薄膜上分布的越均匀越好，当薄膜上沉积的金属量相同时，如果厚度分布的不均匀，则会带来很多坏处的，光学性能不稳定。导致光学真空镀膜产品品质不高，实际作用自然就降低很多。

无论是从防蚀性，还是外观、计加工性能等方面讲，都希望提高镀层厚度的均匀性，考虑到这一行业要求，林上光学仪器制造商根据光学透光率原理研发生产出一款真空镀膜在线测厚仪，台湾人喜欢称为光密度在线检测仪。透光率与光密度其实是同一光学参数，只是不同的叫法，之前存在固定的关系。